■通讯员 谭波

rabey雷竞技国家集成电路产教融合创新平台自2021年获批以来，经过近四年建设，建成了覆盖集成电路设计、工艺、封装、测试全流程能力的创新实践基地，打造了类企业级集成电路工程师技术中心和湖北省集成电路产学研协同育人基地，已成为华中地区集成电路领域拔尖创新人才和卓越工程师人才培养的重要支点。

自校仪器设备开放共享基金项目启动以来，国家集成电路产教融合创新平台以“教学科研双轮驱动、产教融合协同赋能”为核心，在共享管理优化、教学科研体系构建、产学研模式创新三大领域持续突破，不仅让36台套大仪设备“活起来”“用起来”，更成为培养集成电路拔尖创新人才、攻克“卡脖子”技术的有力支撑。平台持续深化产教融合，创新实践教学体系，在保障校内教学高质量完成的同时，积极辐射华中区域人才培养，为兄弟院校及企业提供定制化、订单式的实习实训服务，通过教学、科研和社会服务共同驱动运行效能的不断提升。

教学赋能：从“课堂灌输”到“实战淬炼”，打造全链条育人场景

“从理论图纸到亲手做出实体器件，超净实验室里的每一台设备都是我们‘炼芯’的课堂。”2022级微电子科学与工程专业学生李同学在完成《微电子工艺创新实践》课程后感慨道。作为国家集成电路产教融合创新平台“大型仪器设备开放共享模式研究”项目的受益者，他和同学们通过平台开放的清洗、薄膜沉积、光刻、刻蚀和器件表征测试等设备，完整走完了芯片制造的关键流程。

项目实施中，平台突破传统实验教学局限，构建了“课堂理论-虚拟仿真-平台实践－技术应用”四阶递进培养模式。2025年春季学期，《微电子工艺创新实践》课程再度升级，226名本科生在1700平方米超净实验室内，全程参与清洗、薄膜沉积、光刻、刻蚀和测试等芯片制造全流程实训，课程满意度连续两年超95%，入选校级“最喜爱的实验实践教学项目”。

为优质资源辐射更广，平台打造了“定制化+模块化”的共享实训体系。自2023年度起，平台累计培训学生超2000人次，带动本校集成电路、机械、材料、未来技术学院等4个院系学科协同发展。面向武汉理工大学、中南民族大学、武汉工商学院等华中地区高校的微电子、集成电路相关专业开放共享优质教学资源，提供了“订单式”实践实训课程服务，构建集成电路产教融合育人共同体。

2025年暑期，为武汉理工大学开设“纳米涂层的艺术”“光刻如绣”“硅片雕刻艺术”等特色模块，通过分组流水作业进行核心工艺模块培训；为中南民族大学34名集成电路专业学生开展“从沙子到芯片”系统化实训，实现理论与工艺实践深度融合。“以前学光刻工艺只停留在课本插图，现在能亲手操作紫外光刻机，调整曝光参数、观察图形转移效果，这种获得感是课堂无法替代的。”武汉理工大学应用物理专业学生王同学在参加平台实践实训后表示。

科研攻坚：以“大仪共享”为纽带，突破关键技术瓶颈

平台聚焦集成电路“卡脖子”技术，以设备共享支撑高水平科研突破。在先进存储领域，缪向水教授团队依托清洗、光刻、薄膜沉积、刻蚀和测试等核心工艺设备，开展“内存级高速相变随机存储器芯片研究”，获批国家重点研发计划项目；在类脑计算领域，李祎教授团队利用平台磁控溅射、原子层沉积、激光直写光刻机、晶圆测试探针台等核心设备，进行忆阻器的制备与测试，构建异构矩阵方程求解系统，多篇成果连续发表于Science Advances。曾双双教授团队，依托平台多种薄膜沉积设备，提出“分子束全息光刻技术”，无需光刻胶即可实现复杂三维表面纳米图案化，相关成果发表于Nature Communications。截至2025年8月，平台已支撑国家重点研发计划、国基金重点项目等学院20余项国家级科研项目，产出一批高水平学术成果，并实现一系列实验教学方法创新。

管理效率的提升是设备共享的坚实保障。平台持续推进一站式信息化预约门户的建设，目的是实现设备预约、机时统计、收费管理“一网通办”，并为拉曼光谱仪（Raman）、X射线光电子能谱分析仪（XPS）、扫描电子显微镜（SEM）等6台大型仪器接入机时自动采集终端，实时同步至学校共享平台。为提升设备服务效能，平台建立“设备责任人”制度，将20000小时年度开放目标分解至每台仪器、每位管理员，并组建由高校教师、企业工程师组成的技术支撑团队。截至2025年8月，设备开放共享科研服务总机时9914.5小时，教学服务总机时超3500小时，较去年同期增长1倍以上。

产学研协同：创新共享模式，打通成果转化“最后一公里”

平台以大型仪器设备为纽带，创新“校企联合实验室+定制化培训”合作模式，先后与华为、九峰山实验室、长江存储、龙芯中科、普源精电、安路科技等10 余家龙头企业达成合作。通过共建联合教学实验室，共建教学案例和实训模块，将企业真实工艺需求融入教学案例，培养的学生入职即可上手工作。

在课程共建方面，依托校企合作沉淀的优质教学资源与产业实践资源，将产业前沿标准、真实科研实践深度融入课程体系与教学内容，真正实现“教学供给”与“产业需求”的无缝衔接。平台联合武汉新芯、九峰山实验室开设《集成电路材料及器件表征测试实验》，基于集成电路制造的真实场景，将产业丰富的工艺工程实践和工程管理经验有机融入，建设工程案例库，为卓越工程师培养提供更加贴近工程实际、具有创新性和实践性的学习内容。联合华为开设《高性能嵌入式软件设计》《先进信息存储材料与器件》课程，联合709所集成电路产业计量中心开设《集成电路测试技术与实践》课程，将企业真实项目、工艺标准转化为教学内容，全年校企联合课程达9门。

此外，在深化产学研协同进程中，平台同步践行社会责任：申报湖北省科普教育基地，组建“中国芯-科技红廊”志愿讲解队，开展20余场芯片科普活动，向社会普及集成电路领域的产业与科研知识，搭建起科研成果走向公众、对接社会需求的桥梁。依托“科研服务+社会培训”双路径，科研服务聚焦“研”与“产”的精准对接，社会培训实现“教”与“产”的无缝衔接，既加速科研成果落地，更实现产教、校企与社会科普的联动，进一步构建“产教融合、校企协同”的良性生态。

未来，平台将继续完善信息化管理系统和运行管理制度，实现大型仪器设备机时自动采集全覆盖，拓展与高校科研院所以及集成电路领域企业的合作，让“华中芯”共享模式辐射全国。随着项目的深入推进，国家集成电路产教融合创新平台正以大仪开放共享为支点，撬动教学质量提升与科研创新突破的“双丰收”，为我国集成电路产业高水平科技自立自强输送更多“懂设计、精工艺、能创新”的卓越人才。